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设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的-检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便,检测迅速等特点,是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器,
其测量工作原理如下。-质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计,用-气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。检漏的任务就是在制造、安装、调试过程中,判断漏与不漏、泄漏率的大小,找出漏孔的位置。其结构主要由进样系统、离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子。分析器是一个均匀的磁场空间,不同离子的质荷比不同,在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离,在设计时只让-离子飞出分析器的缝隙,打在收集器上。收集放大器收集-离子流并送入到电流放大器,通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。
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随着压力容器出口产品的增加及各制造企业对产品的重视,-质谱检漏方法在我国的压力容器制造业中的应用也逐年递增。客户也可以直接使用氢气检漏仪进行高灵敏的检漏以避免温度变化带来的对压降法检漏的影响。-质谱检漏方法以下简称-检以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。-检方法基本上可分为用-气内部加压法和设备内部抽真空外部施-这两种,由于后者需将设备完全-真空状态,往往会增加试验用设备如高、低压真空泵、真空阀等和设备工装如外压加强圈而使造价提高,所以该方法通常用于容积小而厚壁的设备;对于大多数压力容器而言,通常优先选用-种方法。
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-质谱检漏仪实际上可以说是一个检-仪,通过检测-气的含量来确定是否有泄漏。氢气检漏法检测灵敏度高、节约成本、操作简便,将是以后检漏技术的发展趋势。而对-的检测则使用的是质谱仪,是只检测-的-质谱仪,这种质谱仪将其它数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作,需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下,空气的流动才体现为分子流,质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。