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-质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体-气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器,用于检漏的一种检测技术,它的检漏灵敏度可达10-14~10-15pa?m3/s,可以准确确定漏孔位置和漏率。耐压要求:对产品加压到实验压力,保压一段时间,降到常压,经检查无泄漏和异常变形。-质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统组件和电子学控制元件三大部分组成。质谱室接在分子泵的高真空端,入口接在分子泵和机械泵之间,利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点,-气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。检漏仪在质谱室-气体电离,这些离子在加速电场的作用下进入磁场,在洛伦兹力作用下发生偏转,由于不同荷质比的离子具有不同的电磁学特性,偏转半径各不相同,在挡板的作用下,-检漏仪的收集板只允许带正电的-离子被接收到,单位时间到达收集板的-离子对应于一个电流信号,这个电流信号正比于进入到达收集板-离子的数量,电流信号经过放大后显示在质谱仪的显示面板上,其大小反映了泄漏点的漏率,通过泄漏率大小来确定该位置泄漏程度的大小。
-质谱检漏仪的示踪气体选用-气,是因为-气具有以下优良特性:
-气在空气中的含量少,体积含量为5.24×10-6,如果-气在环境中的含量超过标准,可以比较容易地探测到极微量的-气;
-分子小、轻、易扩散、易穿越漏孔、易于检测也易于清除;
-离子荷质比小,易于进行质谱分析;
-气是惰性气体,化学性质稳定,不会腐蚀和损伤任何设备;
-气-,不凝结,极难容于水。
今天科仪-小编和大家分享的是-质谱检漏的工作原理,希望对您有所帮助!
北京科仪-真空技术有限公司是国内新兴的一家从事真空领域的高新技术企业。
-质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。-质谱检漏仪的校准方法(1)漏率校准校准系统的组成校准系统由标准漏孔、截止阀及需校准的-质谱检漏仪组成。-质谱检漏仪是根据质谱学原理,用-气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
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