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(1)检漏仪:采用上述工作原理制造的-氢气检漏仪,由于氢气的上述性质,其灵敏度可以达到与-检相同水平。
(2)示踪气体充注控制器:对于批量生产的用户,采用示踪气体充注控制器进行抽真空/充气/排气操作,可以完成对检测管道的充气和排气过程自动化控制。
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-质谱检漏仪实际上可以说是一个检-仪,通过检测-气的含量来确定是否有泄漏。而对-的检测则使用的是质谱仪,是只检测-的-质谱仪,这种质谱仪将其它数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作,需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下,空气的流动才体现为分子流,质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。如真空设备真空镀膜机,液晶注入机,pvd,半导体外延等等,需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。
(1) 发电机氢冷系统及气体置换装置能满足发电机充氢、自动补氢、排氢及中间气体介质置换工作的要求,能自动监测和保持氢气的额定压力、规定纯度及冷氢温度、湿度、co2纯度等。
(2) 发电机氢冷系统为闭式氢气循环系统,热氢通过发电机的氢气冷却器由冷却水冷却。
(3) 发电机氢气冷却器采用散热形式。
(4) 发电机设置氢气干燥器,除了监测发电机内氢气用的氢气湿度在线监测仪外,氢气干燥器的出口处也装设具有远传在线信号的非氢气湿度仪。干燥装置能-发电机在额定条件下机内氢气不高于-5℃同时又不低于-25℃。氢气干燥器设有循环风机。