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氢气检漏法的基本原理

氢气检漏法是一种用5%的氢气和95%的氮气的混合气作为示踪气体进行检漏,称作氢氮混合气检漏法,或氢气检漏法。然后将被检工件内的空气放空,放空后被检工件预抽真空,充注4%氢气和96%氮气至1。5%氢气与95%氮气的混合气体是不可燃的(iso10156-),-性和腐蚀性,也不会对设备和环境产生不利影响。氢气作为检漏使用的示踪元素,有着很多的优点。

氢的分子量与-气相近,是所有化学元素中分子量较轻的元素,有-的扩散性,逃逸性很强,吸附及粘滞性很低。工程安装维护商可以采用手持式氮氢检漏仪(有带气瓶/表组的套装产品供选择),在现场需要查找系统漏点时,先排空制冷剂,然后逐段充注5%氢+95%氮的示踪气体,用手持式氮氢检漏仪进行巡检式查漏。由于氢分子移动速度要高于其他分子,因此使用安全的低浓度氢气作为示踪气体,可以有着更快的响应速度和-的检漏精度。基本工作原理是使用专门开发的氢气传感器,它只对氢气有响应信号,而对其他气体没有响应,属于唯1性检漏性检漏方法。一旦出现信号响应,说明有氢气通过漏孔进入被检件中,从而指示漏孔的位置与大小。同时,由于氢气在一般环境中的含量浓度都非常低,所以不会因本底污染而导致-警。

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真空设备检漏

检漏就是用一定的手段将示漏物质加到被检设备或密封装置器壁的一侧,用仪器或某一方法在另一侧怀疑有泄漏的地方检测通过漏孔漏出的示漏物质,从而达到检测的目的。如真空设备真空镀膜机,液晶注入机,pvd,半导体外延等等,需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。检漏的任务就是在制造、安装、调试过程中,判断漏与不漏、泄漏率的大小,找出漏孔的位置;在运转使用过程中监视系统可能发生的泄漏及其变化。

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一个真空系统,经相当长时间抽气之后,仍然达不到预期的真空度,可能的原因有:抽气情况-,即抽气系统本身的问题。放气,即真空系统或容器内部存在气体或气源。同时,由于氢气在一般环境中的含量浓度都非常低,所以不会因本底污染而导致-警。漏气,即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。至于漏气是检漏技术所要解决的问题,即准确检出漏孔并加以修补。常规检漏内容包括:用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。确定漏气率。找出泄漏部位,以便修补堵漏。

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氢气纯度分析仪

可实时监测氢气、co2的纯度。气体置换时主要通过气体纯度监测装置的样气进口来监控气体纯度;量程气进口只在置换时用,可实时调看供氢纯度或供co2纯度。参比空气进口为调试时用。纯度仪回气排空

工作原理:

仪器由特殊设计的风机,压差交送器及压差计组成,实际则是风机产生的压差,但由于此压差值与气体的密度有关,而气体密度又直接与气体的成分成比例,故只要测出风机压差就等于测出了气体密度,实际上两只压差计是直接按密度和纯度标注的。





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